INFICON은 7월 공개한 자료에서 진공펌프·제해설비·포어라인 히터·퍼지 가스 공급 등이 FAB 전체 에너지 소비의 약 40%를 차지할 수 있다고 설명했다. 문제는 많은 Subfab 설비가 공정 장비가 쉬는 동안에도 안전과 즉시 재가동을 위해 계속 높은 부하로 운전된다는 점이다. 과거에는 공정 장비의 상태, 생산 일정, Subfab 설비가 서로 충분히 연결되지 않아 ‘항상 켜짐’이 가장 안전한 운영 방식이었다.
해법은 단순한 절전모드가 아니다. 공정 장비가 어떤 레시피를 수행하는지, 다음 웨이퍼 투입이 언제인지, 어떤 가스가 얼마나 사용되는지를 Subfab 제어와 연결해 펌프·제해설비·질소·냉각수 사용량을 단계적으로 조절하는 것이다. SEMI도 스마트 제조 기반 지속가능성 로드맵에서 공정 장비와 Subfab 상태의 통합, 지능형 idle/power-off, 진공·제해 기술 고도화를 핵심 수단으로 제시한다. SEMI E175 표준 역시 공정 장비와 Subfab 설비 사이의 에너지 절감 모드 통신을 다룬다.
장비업체도 이 시장을 구체화하고 있다. Edwards Vacuum은 Ganymede 플랫폼이 기존 대비 전력 사용을 최대 50~60%, 질소와 공정냉각수 사용을 20~25% 줄일 수 있다고 제시한다. 이는 제조사가 공개한 설계 목표이므로 모든 FAB에 동일하게 적용되는 수치는 아니지만, Subfab 최적화가 전기료뿐 아니라 질소·냉각수·탄소배출까지 동시에 건드릴 수 있음을 보여준다.
더 흥미로운 변화는 기존 설비를 교체하지 않고 소프트웨어로 연결하려는 시도다. 독일 algorismic의 Subfab360 ATC는 식각·증착 장비의 실시간 데이터를 받아 제해설비와 펌프 출력을 수요에 맞게 조절한다. 회사는 대만과 독일의 실제 생산환경에 적용 경험이 있으며, 2026년에는 대만 현지 지원팀도 구축하고 있다.
이 흐름이 확대되면 Subfab은 단순한 설비실이 아니라 새로운 운영 플랫폼 시장이 된다. 오래된 펌프와 제해설비의 통신 인터페이스 연결, 안전 인터록, 실시간 사용량 계측, 에너지 절감 로직, 절감효과 보고, 유지보수 서비스가 하나의 패키지로 묶일 수 있기 때문이다. 앞으로 FAB 운영 경쟁력은 공정 장비의 성능뿐 아니라 ‘공정이 쉬는 순간, 아래 설비도 얼마나 똑똑하게 쉬게 할 수 있는가’에서 갈릴 가능성이 커지고 있다.
※ 본 기사는 공개된 해외 자료를 바탕으로 생성형 AI가 작성·편집했습니다. ※ 자료의 오류·누락·시점 차이가 있을 수 있으며, 특정 기업이나 제품에 대한 투자·구매 권유를 목적으로 하지 않습니다.
[자료] INFICON, From Always-On to Intelligent, 2026.07.14 https://www.inficon.com/en/news/from-always-on-to-intelligent SEMI, Industry 4.0-driven Sustainability https://www.semi.org/en/industry-groups/smart-manufacturing/industry-4-driven-sustainability SEMI, Being "Idle" to Make Money - How Powering Down Pays Off https://www.semi.org/en/blogs/technology-trends/semi-equipment-idle-mode-standard Edwards Vacuum, Optimise utility consumption with Ganymede: Sustainable solutions for the Subfab https://www.edwardsvacuum.com/en-uk/semiconductor/knowledge/innovation-hub/project-ganymede/endurance-performance algorismic, Subfab360 ATC / Taiwan support team 2026 https://www.algorismic.com/en/loesung/ https://www.algorismic.com/en/algorismic-goes-taiwan/